以至：表示延伸；表示結果。 連詞，表示時間、數量、程度、范圍等的延伸；用于下半句開頭，表示上述情況所達到的深度或結果。有一直到的意思，一般指從小到大，從少到多，從淺到深。

甚而：表示甚至。甚而，是漢語詞匯，出自《我的改造》，表示甚至。

乃至：表示甚至；也說乃至于。